晶圆、MEMS器件等半导体集成电路制造很多工艺必须在真空环境中进行,于是创造真空环境的真空泵就成为芯片制造必备的关键设备。
锂电池制造的很多工艺必须在真空环境中进行,于是创造真空环境的真空泵就成为锂电池制造必备的关键设备。
光伏整条产线从硅料、硅片加工、电池制备到组件封装,大量工艺依赖真空环境,干式真空泵是核心配套设备,分为粗抽干泵、分子泵、罗茨干泵等,不同工序真空等级、泵型、作用差异明显。
LCD/OLED液晶显示面板在制造过程中的三大阶段多个工艺全部都需要在真空环境中进行。真空获得设备(真空泵)的性能决定了面板制造的良率和效率。目前,面板行业真空泵仍然是国外品牌占主导。迈科微立足自主研发,主打国产替代,致力于为面板制造提供高效、稳定、节能的一站式干式真空泵国产替代解决方案。