光伏制造环节	真空泵应用/作用
硅片	把硅料制成硅片。 炉膛抽真空隔绝氧气，高温下硅液不氧化，减少单晶氧缺陷； 配合氩气保护，持续抽出挥发硅蒸汽、杂质气体，稳定熔体环境； 快速置换炉内气氛，缩短换料抽气节拍，提升单炉产出；
电池片-钝化镀膜PECVD工艺	抽走腔体内空气、水汽，避免薄膜氧化、针孔，保证钝化膜致密均匀； 排出硅烷、氨气、三甲基铝等工艺气体与副产物，防止粉尘堆积造成硅片色差、隐裂； 稳定腔体低压，让等离子均匀分布，整片硅片膜厚、折射率一致，提升减反与钝化效果，拉高转换效率； 快速抽气、吹扫，缩短单片工艺时间，提升产线节拍。
电池片-氧化铝钝化ALD工艺	高真空环境隔绝微量水氧，避免氧化铝薄膜缺陷，降低载流子复合； 精准抽除交替前驱体气体，保证单原子层级薄膜均匀； 干泵持续抽排有机金属废气，保护腔体与硅片。
电池片-金属镀膜PVD工艺	真空降低气体分子碰撞，靶材金属 / ITO 原子均匀沉积硅片； 杜绝空气杂质混入导电膜，保证电池片串联电阻稳定； 分子泵搭配干泵实现高洁净真空，适配超薄薄膜工艺。
Load Lock	硅片在大气与工艺腔之间缓冲：快速抽破真空，阻挡车间粉尘、水汽进入镀膜腔体，是控制良率的关键一环。
组件封装-层压工艺	层压前抽走 EVA、玻璃、电池片之间空气，消除气泡；气泡会造成局部发热、脱层、组件衰减加速； 负压使 EVA 紧密贴合电池片、玻璃、背板，提升封装强度与绝缘性能； 高温层压过程中持续抽出 EVA 分解有机挥发物，避免组件黄变、老化； 无油干泵杜绝油雾污染组件表面，保证外观与绝缘可靠性。

光伏制造环节	推荐真空泵类型	推荐型号规格
单晶拉晶工艺	干泵机组	EDC4040
电池片-钝化镀膜PECVD工艺	干泵机组+分子泵	EDC2020/EDC2540
电池片-氧化铝钝化ALD工艺	大流量干泵机组	EDC4565/EDS4580
电池片-金属镀膜PVD溅射工艺	干泵+涡轮分子泵	EDC系列/EDS系列
Load Lock	高负载干泵机组	EDS4080
层压工艺	干式螺杆泵/混合干泵	EMS850/EHS600/EHS900

注：以上真空泵仅是根据我司已有案例粗略推荐。具体工艺真空泵使用以技术方案为准

迈科微真空泵在光伏制造全流程全工艺均有批量应用案例，可根据不同光伏客户的不同工艺有针对性定制真空解决方案。

硅片制备拉晶工艺，适配各种拉晶炉；

电池片制备，适配各类镀膜设备；

组件封装，适配各种层压机；

一、MDR罗茨增压泵
MDR系列是MICROWAV迈科微自主研发的一种罗茨增压真空泵，多级罗茨结构设计，自主知识产权，可以替代传统单级罗茨串联结构。
性能特点
• 逐级变径变距罗茨增压，更紧凑的外形，更高的压缩比，最大可达200倍;
• 逐级增压，依据间级压差，内部旁通管道实现气流通道最优化(直排，恒通，多级压缩);
• 逐级增压或直排，降低压缩热集中，避免过热高温;
• 逐级增压，降低级间压差比，大幅降低腔内返流，级间抽气效率大幅提升;
• 效能提升，降低前级泵性能要求;

二、EHS系列干泵
1、低能耗，比同等性能的干式真空泵低40%
• 采用高效水冷永磁电机效率>97%;采用永磁直联，没有耦合、联轴器，减少驱动损失;
• 特殊转子结构，内压缩比>16，尾排气体只有进气的10%，多级压缩节能;

2、适应强
• 螺杆转子可以采用不同材质/镀层，满足不同工艺的需求;
• 真空腔采用不同工艺的氮气吹扫、温度控制满足不同严苛工艺的需求;

• 可以更好的处理粉尘、腐蚀性介质;

三、EDC系列真空机组
1、 超节能，能耗比国外竞对低40%-60%
ALD        EDC4000 抽气能力满足60000L/min  综合能耗2.1kw/h
PECVD    EDC2000 抽气能力满足30000L/min  综合能耗1.1kw/h
2、耐腐蚀
EDC系列真空机组BP泵的转子采用316SS或其它耐蚀合金，泵壳采用镀层，可以满足CI、CFX、CHFX、TEOS、F2、HF等气体的腐蚀，具有更强的耐腐蚀能力，更满足严苛工艺要求。

四、进口品牌同等替代

• 性能优势明显，满足工艺要求;
• 无知识产权纠纷，全球独有技术路线产品，与国外竞品结构完全不同;
• 内部易损件采用全球标准零部件，无隐形备件、维保成本;
• 整机设计与国外头部竞品可互换，包括工艺进出接口、冷却水接口、电气接口适配;