EDS系列真空机组|罗茨螺杆干泵机组_型号_参数_图片

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EDS系列真空机组

EDS系列真空机组是专为超高频节拍真空应用研发的高度集成化、智能化的真空系统，罗茨-螺杆结构，适用于大面积真空镀膜(如光伏玻璃、建筑玻璃、柔性基材、锂电极片)所需连续涂布工艺，可以大大减少停机换料时间。

干泵机组罗茨螺杆泵组低能耗高真空大抽速

产品特点

性能强，可连续稳定运行
下泵为MS干式螺杆真空泵，可以满足Atm-100Pa周期性压力变化，轴功率变化<士15%，避免过载。
上泵为MSR或MDR增压泵，可以满足Atm-0Pa周期压力下连续运行。

真空度稳定
上泵采用MDR增压泵可以满足更高的真空度，即使下泵因受到高速气流、腐蚀工艺介质等造成的磨损，依然可以满足0.05torr的真空度。

抽速快
采用MDR系列增压泵，同体积下拥有更大的抽速，达到高真空的速度更快。

产品参数介绍

参数详情性能曲线设备尺寸

规格型号	EDS2580	EDS2512	EDS4080	EDS4012	EDS5080	EDS6080	EDS6012	EDS8012
最大抽气能力 (m³/h)	2300	2750	3900	4000	4500	5200	6100	7200
最大抽气能力 (L/min)	38333	45833	65000	66667	75000	86667	101667	120000
极限真空度 (Pa)	0.05	0.05	0.05	0.05	0.1	0.05	0.05	0.1
极限真空度 (mtorr)	0.4	0.4	0.4	0.4	0.75	0.4	0.4	0.75
上泵型号	MSR2500	MSR2500	MDR4000	MDR4000	MSR4500	MDR6000	MDR6000	MSR8000
下泵型号	MS850s	MS1200s	MS850s	MS1200s	MS850s	MS850s	MS1200	MS1200
装机功率上/下 (Kw)	6/14	6/22	11/14	11/2	14/14	14/14	14/22	14/22
上泵允许最高转速 (rpm)	4000	4000	4000	4000	4000	4000	4000	4000
下泵允许最高转速 (rpm)	3850	3850	3850	3850	3850	3850	3850	3850
进气口规格	ISO160	ISO160	ISO160	ISO160	ISO200	ISO200	ISO200	ISO250
排气口规格	KF50	KF50	KF50	KF50	KF50	KF50	KF50	KF50
冷却水耗量 25°C (L/min)	16	16	16	16	16	16	16	16
冷却水入口最小压力 (Bar)	2.0	2.0	2.0	2.0	2.0	2.0	2.0	2.0
氮气耗量(气封) 2Bar (L/min)	20	20	20	20	20	20	20	20
氮气耗量(气镇) 4Bar (L/min)	10-80	10-80	10-80	10-80	10-80	10-80	10-80	10-80
冷却水连接(自闭接头)	Φ16	Φ16	Φ16	Φ16	Φ16	Φ16	Φ16	Φ16
氮气连接(快插)	Φ6	Φ6	Φ6	Φ6	Φ6	Φ6	Φ6	Φ6
重量 (Kg)	1265	1318	1418	1492	1562	1580	1665	1791
稳定运行噪音 (dB(a))	72	72	74	74	74	74	75	75
泵壳最高允许温度 (°C)	45	45	45	45	45	45	45	45
排气口最高温度 (°C)	165	185	165	185	165	165	185	185
尺寸（长x宽x高） (mm)	1400x686x700	1625x480x748	1400x687x700	1625x480x861	1390x500x1025	1390x500x1050	1625x480x986	1625x480x986
外接电缆规格	4 x 6.0	4 x 10.0	4 x 10.0	3 x 16+1 x 10	3 x 16+1 x 10	3 x 16+1 x 10	3 x 16+1 x 10	3 x 16+1 x 10
外接空开规格	50A	63A	63A	80A	80A	80A	80A	80A
通讯方式规格	Modbus RTU，Modbus TCP，连接阵脚（IO通讯）DB9，DB15，DB25