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EMS系列干式螺杆真空泵

EMS系列干式螺杆真空泵可加装过滤器,多种电机可选。
迈科微新推出的 EMS系列 干泵将真空性能提升到了一个新的水平。凭借独特的变螺距螺杆结构、出色的螺杆型线设计和高效驱动装置,可以实现出色的温度控制和较长的保养间隔。在未来的许多年中,您都可以享受高效的抽气能力、抽气速度和较低的运行成本。

适用范围:半导体、锂电、光伏、面板、制药、化工等

干泵无油螺杆泵可选ATEX
产品特点
独特泵体结构,同等抽气能力下,体积更小、能耗更低、噪音更低;
可根据工艺选择电机类型,满足防爆等级要求;
采用多种镀层工艺,抗腐蚀能力强;
干式螺杆泵,环保无污染;
大抽速,规格多、适用广;
产品参数介绍
规格型号 EMS650 EMS850 EMS850s EMS950s EMS1200s EMS1600s
最大抽气能力
(m³/h)
650 780 820 980 1180 1570
极限真空度
(Pa)
5.0 2.0 2.0 2.0 2.0 2.0
极限真空度
(mtorr)
37.5 15.0 15.0 15.0 15.0 15.0
装机功率
(Kw)
15.0 18.5 14.0 20.0 22.0 28.0
极限真空功率
(Kw)
7.8 8.25 6.80 9.80 11.5 16.5
最大负载功率
(Kw)
11.5 14.6 12.8 15.6 17.6 26.2
额定转速
(rpm)
3000 3600 3850 4500 3850 3850
电机类型
异步电机(可选防爆电机) 异步电机(可选防爆电机) 永磁同步水冷电机 永磁同步水冷电机 永磁同步水冷电机 永磁同步水冷电机
防爆等级
II 2 G Ex h IIB T4 GB II 2 G Ex h IIB T4 GB
进气口规格
DN100 DN100 ISO100 ISO125 ISO125 ISO125
排气口规格
KF50 KF50 KF50 KF50 KF50 KF65
冷却水耗量 25°C
(L/min)
16 16 16 16 16 16
冷却水入口最小压力
(Bar)
2.0 2.0 2.0 2.0 2.0 2.0
冷却水进水最小压差
(Bar)
1.0 1.0 1.0 1.0 1.0 1.0
氮气耗量(气封) 2Bar
(L/min)
10 10 15 20 20 20
氮气耗量(气镇) 4Bar
(L/min)
10-60 10-65 10-80 10-80 10-80 10-80
冷却水连接(自闭接头)
Φ16 Φ16 Φ16 Φ16 Φ16 Φ16
氮气连接(快插)
Φ6 Φ6 Φ6 Φ6 Φ6 Φ6
重量
(Kg)
628 649 605 619 651 1418
稳定运行噪音
(dB(a))
74 74 72 75 75 75
泵壳最高允许温度
(°C)
45 45 45 45 45 45
排气口最高温度
(°C)
165 185 185 185 185 185
外接电缆规格
4 x 4.0 4 x 6.0 4 x 4.0 4 x 4.0 4 x 6.0 4 x 6.0
外接空开规格
40A 40A 40A 40A 53A 53A
通讯方式规格
Modbus RTU,Modbus TCP,连接阵脚(IO通讯)DB9,DB15,DB25
应用案例
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