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用户痛点需求该生产基地是客户G8.6 TFT LCD面板产线，一直处于满产状态，产线利用率高。根据迈科微工程师现场勘探交流了解到的信息，此次产线改造涉及到的是刻蚀工艺真空泵。该产线配套的是EDWARDS iXH1820干式真空泵机组，性能良好。但是，因长期使用目前面临如下几个问题：
1、故障多：真空泵使用时间超过4000小时，已超平均寿命，性能稳定性大幅下降，主要表现为抽气效率降低，工作真空环境不稳定，故障频繁，严重影响产线效率和良率。
2、运营成本高：进口品牌干泵，维修成本高，包括真空泵维修人工成本、配件成本及由此带来的停机损失。
3、工厂缺少同型号干泵备泵，产线不能在最短时间内重启。
我们的方案经与客户详细沟通，迈科微工程师为客户量身定制真空泵解决方案——产线改造，干式真空泵同等国产替代，最大可能利用现有的产线基础设施。具体替换方案如下：
1、使用场景：
刻蚀工艺，配套刻蚀设备LL腔和工艺腔，备泵1台
2、干泵基本参数
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品牌及型号 |
抽速m³/h |
真空度 Pa |
能耗 kw |
泵体结构 |
备注 |
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原有真空泵型号 |
EDWARDS iXH1820 |
1700 |
5.0 |
6.1（客户给定） |
罗茨泵+多级爪泵 |
温度控制策略、氮气流量设置、冷却水流量、连接法兰、进出水连接、电源等工艺端口一致 |
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替换后真空泵型号 |
MICROWAY EDC2020 |
2000 |
2.0 |
3.1 |
罗茨泵+混合干泵 |
该真空解决方案优势：
1、EDC2020真空机组配套触摸显示屏，在远程通讯的基础上，现场监测更方便，数据更直观；
2、进口品牌同等替换，原有设备基础设施利用率高，最大化降低改造成本，节能费用；
3、EDC2020真空机组使用迈科微自主研发的混合干式真空泵，在保证真空性能的前提下，大大降低运维难度和运营成本，降本增效明显；
4、国产替代，提升了客户国产化设备利用率，更符合政策精神；
实施效果迈科微应用工程师提前与客户沟通，制定了详细的安装调试方案，选派了专业工程师在客户产线停机期间快速实施了安装、调试、上机工作，确保了产线正常运转。上机后，迈科微工程师对客户现场EE进行了针对性干泵使用培训，建立了项目售后服务机制。
截止到本文发布，迈科微EDC2020真空机组已经在客户刻蚀工艺产线上稳定运行2个月无故障，综合效果如下：
1、耐腐蚀、耐粉尘，满足主机台工艺真空环境要求；
2、节能效果明显，能耗降低50%以上；
3、稳定运行无故障，大大降低客户运营成本；
客户反馈项目实施后，迈科微对整个项目的实施进行了满意度调查，涵盖前期技术沟通、设备交付、设备安装调试、技术培训各环节，客户对我司满意度高达95%以上。
摘录客户EE反馈：迈科微真空泵各项性能符合项目要求，运行状况良好，能耗超出我们的预期。人机交互设计非常好，充分考虑了现场运维需求。
