×
| 规格型号 | EHS120 | EHS200 | EHS400 | EHS650 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 最大抽气能力 (m³/h) |
100 | 200 | 400 | 650 | |
| 极限真空度 (Pa) |
2.0 | 2.0 | 2.0 | 2.0 | |
| 极限真空度 (mtorr) |
15.0 | 15.0 | 15.0 | 15.0 | |
| 装机功率 (Kw) |
3.0 | 6.0 | 11.0 | 14 | |
| 极限真空功率 (Kw) |
0.5 | 0.6 | 1.5 | 2.6 | |
| 最大负载功率 (Kw) |
2.8 | 5.5 | 8.9 | 12.6 | |
| 额定转速 (rpm) |
4000 | 4000 | 4000 | 4000 | |
| 进气口规格 |
KF40 | KF50 | ISO80 | ISO100 | |
| 排气口规格 |
KF25 | KF40 | KF40 | KF40 | |
| 冷却水耗量 25°C (L/min) |
6 | 6 | 7 | 7 | |
| 冷却水入口最小压力 (Bar) |
2.0 | 2.0 | 2.0 | 2.0 | |
| 冷却水进水最小压差 (Bar) |
1.0 | 1.0 | 1.0 | 1.0 | |
| 氮气耗量(气封) 2Bar (L/min) |
10 | 15 | 15 | 15 | |
| 氮气耗量(气镇) 4Bar (L/min) |
10-60 | 10-65 | 10-65 | 10-65 | |
| 冷却水连接(自闭接头) |
Φ12 | Φ12 | Φ12 | Φ12 | |
| 氮气连接(快插) |
Φ6 | Φ6 | Φ6 | Φ6 | |
| 重量 (Kg) |
193 | 225 | 305 | 305 | |
| 稳定运行噪音 (dB(a)) |
62 | 62 | 64 | 64 | |
| 泵壳最高允许温度 (°C) |
95 | 100 | 100 | 100 | |
| 排气口最高温度 (°C) |
105 | 115 | 115 | 115 | |
| 外接电缆规格 |
4 x 1.5 | 4 x 2.5 | 4 x 4.0 | 4 x 4.0 | |
| 外接空开规格 |
10A | 20A | 40A | 40A | |
| 通讯方式规格 |
Modbus RTU，Modbus TCP，连接阵脚（IO通讯）DB9，DB15，DB25 | ||||
